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Wafer 治具定位銷、設備間距 Spacer、精密滑動導套……
半導體設備對零件尺寸一致性要求極高,建昶的高硬度材料加工能力與精密 PIN 量產實績,直接符合這個產業需求。
晶圓搬運、對位、固定相關設備需要大量精密定位銷與固定件,要求尺寸一致性極高。
半導體設備零件的加工難點,正是建昶走心式車床與高硬度材料加工經驗的強項。
以下為半導體設備產業常見需要精密車削的金屬件,建昶均有加工能力,可依圖面來料或來圖委外製造。
| 零件名稱 | 英文名稱 |
|---|---|
| Wafer 治具定位銷 | Wafer Fixture Locating Pin |
| 設備間距套 | Equipment Spacer |
| 精密滑動導套 | Precision Sliding Bushing |
| PCB 對位銷 | PCB Alignment Pin |
| 真空腔體小型零件 | Vacuum Chamber Small Part |
| 探針治具零件 | Probe Fixture Part |
各材質在半導體設備零件的適用場景與特性比較。
| 材質 | 特性 | 適用零件 | 備註 |
|---|---|---|---|
| SKH9(高速鋼) | 高硬度、耐磨 | 定位銷、耐磨零件 | 適合高頻次接觸磨損場合 |
| SUS440C | 高硬度、尺寸穩定性佳 | 精密定位銷 | 可搭配研磨提升精度 |
| SUJ2(軸承鋼) | 高硬度、耐磨、尺寸穩定 | 滑動導套、軸類零件 | 常用於精密滾動 / 滑動元件 |
| 鋁合金(6061 / 7075) | 輕量化、易加工 | 治具本體、結構件 | 可搭配硬質陽極處理提升耐磨性 |
| SUS304 | 耐蝕、無磁性 | 真空腔體零件 | 半導體設備常用無磁材質 |